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真空泵配件及耗材有：
油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、
排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、
散热器、防震脚、真空泵油。
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真空泵油在真空泵的使用中起着润滑,密封,散热等作用.行业不同,真空泵型号不同,使用环境的不同等各类原因要求使用不同粘度
,不同闪点的真空泵润换油,真空泵润换油隶属于特种油品,真空泵油选择
不慎会导致真空泵真空度不够,冒烟,漏油,油碳化导致损坏缸体和转子等诸多问题,选择的真空泵油请到正规厂家.
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Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，
同时程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

爱德华真空泵维修包 E2M80配件大维修包
加工定制：是 品牌：爱德华 型号：E2M80
适用范围：爱德华真空泵 产品别名：爱德华真空泵耗材 规格：套
类型：大维修包
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Edwards爱德华EM 系列：E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30, E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1.5,
E2M18,E2M28, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275
Edwards旋片式真空泵：Edwards爱德华RV系列：RV3, RV5, RV8, RV12
Edwards罗茨泵 ： Ewards爱德华EH 系列：Edwards爱德华EH 系列：EH250, EH500, EH1200, EH2600, EH4200
Edwards干式真空泵：Edwards爱德华GV干式真空泵系列：GV80，GV160， GV250， GV400 Edwards

爱德华真空泵维修--真空泵选型，
应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等；如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等；如抽取气体还有腐蚀性，则须选用材质；若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机，因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何，如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵如水环式真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空设备或者零部件对油污染的要求，若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。